CM
Introduktion af et helt nyt design af Kontaminometeret (CM + serie proces ionisk kontaminering testere).
Dette nye design er knyttet til indførelsen af den nye proceskontrol metrik introduceret af Gen3 Systems: Process Ionic kontaminering testing. CM +-serien måler mængden af ionisk kontaminering i overensstemmelse med alle eksisterende testmetoder, der ofte omtales som ROSE-test samt den nye PICT-test.